新浪微博|腾讯微博|收藏本站|网站地图欢迎光临武汉纽瑞德特种气体有限公司!

氦气,氖气,六氟化硫等特种气体,纽瑞德专业!中国特种气体供应首选品牌
23年资深专家创办  国家科研单位指定供应商

全国服务热线:4006277838
纽瑞德感谢客户对其大力支持
当前位置:首页 » 纽瑞德资讯 » 气体指南 » 四氟化碳在微电子行业的应用

四氟化碳在微电子行业的应用

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-08-28 10:32:00【
四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。
 
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时,由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。
 
在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
 
由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
 
四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。
 
在使用四氟化碳的同时,也要注意使用四氟化碳的注意事项,如在泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
此文关键字:特种气体知识 气体知识

相关资讯