真空系统漏气及氦气测漏仪检漏方法

漏气的定义为气体由真空系统的外部经由漏气的途径进入真空系统的内部即为漏气。据此定义则任何真空系统均有漏气，实际应用时并不以此定义来决定真空系统有无漏气实际应用时并不以此定义来决定真空系统有无漏气。

真空系统不漏气的条件

真空系统既然不可能绝对不漏气，但是在符合以下条件的但是在符合以下条件的情况可视为不漏气：真空系统最终压力真空系统最终压力（ultiltimattepressure）可以达到可以达到Ù真空系统的操作压力范围（operationalpressure rangerange）在合理的时间内可以达到并维持在合理的时间内可以达到并维持

漏气的途径

漏气的定义所称的气体由真空系统外部进入真空系统内部的途径应与组成真空系统各部分的材料及其製造加工有关。

主要包括有：

材料製造加工

小孔

裂缝

焊接道的裂痕

材料加工的纹理

材料本身的性质

多孔性材料的微孔

分子或晶体间隙的渗透

判定漏气的方法

常用简单判定假漏与真漏的方法系将真空系统停止抽气常用简单判定假漏与真漏的方法系将真空系统停止抽气，亦即将抽气的真空帮浦至真空系统间的隔断阀（isolationvalvevalve）关闭。

测漏仪找漏-氦气测漏仪

氦气测漏仪氦气测漏仪（heliumleakdetectorheliumleakdetector）为目前最普遍应用为目前最普遍应用的测漏仪。实际上氦气测漏仪即为一小型气体质谱仪（gasmassspectrometer）而专门测定氦气者。

因其为质谱仪，必须操作在高真空范围，故需要有真空帮浦维持仪器的高真空。传统的氦气测漏仪用小型扩散帮浦及其前段帮浦抽高真空，因为使用的场地可能并无冷却水源，故其冷却用气冷式。

因此必须用液态氮以防帮浦的油蒸气回流至质谱仪。新式的氦气测漏仪则用涡轮分子帮浦及其前段帮浦抽高真空氦气测漏仪则用涡轮分子帮浦及其前段帮浦抽高真空故无油蒸气回流的问题。

应注意此种新式的氦气测漏仪若用于有污染性的真空系统测漏时必须防止涡轮分子帮浦被污染涡轮分子帮浦的叶片若被漏时必须防止涡轮分子帮浦被污染涡轮分子帮浦的叶片若被污染其清洁颇困难，若未清洁而继续使用会使帮浦损坏。