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四氟化碳仅仅只是一种超低温冷媒吗?

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-04-07 09:47:00【

   CF4,中文名称四氟化碳、四氟甲烷,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。也被称为R-14制冷剂,别名R14、氟利昂14PFC-14,商品名称有Freon 14等。

 

四氟化碳气体理化特性

在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7℃13.33kPa,介电常数(25℃0.5Mpa1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比)

四氟甲烷空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。

 

四氟化碳气体使用范围

CF4作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 

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