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显示屏制造中特种气体的应用

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-07-20 10:58:00【
 
显示屏是有源矩阵薄膜晶体管(TFT),在二世纪九十年代开始投入民用,到如今已经是我们生活中不可或缺的组成部分,它在我们生活中已经是随处可见了,大家天天离不开的手机、电视,马路上的广告、标牌等等。
 
显示屏的制造与半导体器件的制造有许多相似的地方,不仅生产工艺步骤十分相似,而且在制造过程中都需要使用大量的气体,使用的气体类型也大都相同。
 
今天纽小编就和大家一起来了解一下特种气体在显示屏生产中的应用。
 
显示屏生产中用到气体主要分为量大类:电子特种气体和电子大宗气体。电子特种气体主要指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨气及磷化氢混合物,占生产制造使用气体的52%;电子大宗气体指氦气、氮气、氧气、氢气、二氧化碳和氩气,占生产制造使用气体的48%。
 
硅烷:SiH4是显示屏制造中最关键的气体之一,与氨气(NH3)结合使用,形成用于a-Si晶体管的氮化硅层,与氮气(N2)结合使用,形成用于LTPS晶体管的预准分子激光退火a-Si,或与氧化亚氮(N2O)结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。
 
三氟化氮:从a-Si和LTPS显示屏生产中的消耗和使用量来看,NF3是a-Si和LTPS显示屏生产中使用最多的单种电子材料,而在MO生产中,其使用量不如N2O。NF3用于清洁PECVD腔室。对于这种气体,需要具备可扩展性,才能在竞争激烈的市场中建立所需的成本优势。
 
氧化亚氮:LTPS和MO显示屏生产中均使用,从MO生产中的消耗和使用量来看,N2O已超过NF3成为MO生产中用量最多的电子材料。N2O是一种区域性、本地化的产品,由于其成本低,无法采用物流成本高昂的长供应链。平均每5.5平方米素玻璃重约2公斤,每月一般需要240吨N2O才能生产120K的8.5 MO显示屏。最大的N2O压缩气体拖车每次只能提供6吨N2O,对于MO生产来说,这种做法成本高,风险大。
 
氮气:一般的大型显示屏厂氮气需求可高达50,000 Nm3/小时,因此现场发生器(如林德 SPECTRA-N®50,000)是一种具有成本效益的解决方案,与传统的氮气工厂相比,显示屏制造中的CO2(二氧化碳)排放减少8%。
 
氦气氦气用于流程中和流程后冷却玻璃。由于氦气是一种不可再生气体,鉴于其成本和可得性,制造商正在研究减少氦气的使用。
 
 
 
此文关键字:特种气体知识 气体知识

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