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纽瑞德特种气体

三氟化氮

产品分类: 三氟化氮
    名称/化学式:三氟化氮/NF3
    包装规格:44L、17L
    纯度(%)及杂质(ppm):99.99%
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       气体标识
        名称:nitrogen trifluoride 分子式:NF3
        气体物化特性

       

      分子量 熔点 沸点 临界温度 临界压力 液体密度 气体密度 CAS号
      71.01 -206.8℃(1atm) -129℃(1atm) -39.3℃ 44.02atm(4.46MPa) 1554kg/m3(1atm沸点时) 2.95kg/m3(1atm 21℃) 7783-54-2

        

        包装 ( Cylinder47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO)

       

      钢瓶容积 钢瓶型号 阀门 钢瓶压力 气体质量 危规号 UN编号 包装分类 包装标志
      47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、GB5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 6

        

        储存及运输
        三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
        三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
        三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
        泄漏应急处理
        如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
        泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
        三氟化氮气体产品质量标准(QJ58-2007)

       

       

      杂质 NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3≥99.98% Vol.% NF3≥99.9% Vol.%
      CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤100 Vol.ppm ≤500 Vol.ppm
      N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
      O2+Ar ≤3 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
      CO2 ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
      H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm
      酸份(以HF计) ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm
      SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤25 Vol.ppm
      N2O ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
      CO ≤0.5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

       

       

      三氟化氮检验系统 三氟化氮产品检测

       

      三氟化氮

       

        武汉纽瑞德特种气体公司常年供应高质量三氟化氮气体,欢迎各界前来与三氟化氮生产厂家洽谈最新市场价格!我司三氟化氮全球服务专线(400-6277-838)!

       

        三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

       

      纽瑞德四大优势

       

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      特种气体品质保证——选择放心!

       

      源头控制:纽瑞德直接进口原装气体产品,并附有原厂检测报告
      渠道控制:美国特种气体公司中国指定经销商,已经达成长期独有的合作关系
      分析控制:引进美国先进的检测分析设备,对纯度检测有资深专家团队支持
       

       

       

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      23年前公司创办人员开始从事气体行业,经过在气体行业巨头10余年的历练,07年成立纽瑞德公司。
      10年来纽瑞德供应特种气体之高纯氦气、六氟化硫、四氟化碳及氯化氢等特种气体,并在国内外享有盛誉。
      通过23年与国内外特种气体供应商的交流与合作,纽瑞德公司再创佳绩!
       

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      运输安全:自备专车货运及专业物流公司保证运输安全。
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