四氟化碳又称四氟甲烷，被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气

体及制冷剂。常温常压下比较稳定，但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体，

如果遇到高热后会造成容器内压增大，有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作

用。

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛用于硅、二氧化硅，磷硅玻璃等薄膜

材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、

印刷电路生产中的去污剂等方面都有着大量的应用。