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氢氮混合气在电子器件中应用

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2017-04-14 09:21:00【

  在电子器件生产工艺中.广泛使用了各种高纯气体.按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气.

 

  用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气.在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取.这种方法需用大量电能来电解水,一般达4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高.

 

  为减少电能消耗,降低成本,都在研制和应用各种混合气.其中,以应用氮-氢混合气为最多.国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气, 也有采用液氮分解法获得氮氢混合气的.

 

  用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法,由于采用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高. 国外,由于生产的专业化程度高,使用单位多采用这种方法获得混合气. 国内若从专业厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍.由液氨分解获得的氮氧混合气,由于液氮来源不同,大多数质量较差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质.此外,液氮多来源于化肥厂,目前,供应上较紧张,故成本也较高.

 

  氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气,还可广泛用于冶金、化工、机械等行业. 一旦广泛推广应用,必将产生可观的经济效益和社会效益.

 

  一、氢氮混合配气工作原理; 

 

  本装置以含氢75%、氮25%的氢氮混合气为原料,通过调节阀调节,加入纯氮气中,获得稳定的具有一定比例的氢氮混合气。在按需调准。 

   

  二、氢氮混合配气设备主要组成及功能; 

 

  1、调节阀; 

  2、氢分仪; 

  3、智能显示调节仪; 

  4、电气转换器; 

  5、过滤减压器; 

  6、混合罐; 

  7、配比流量计 

   

  三、氢氮混合配气工艺流程; 

 

  原氢氮混合气经阀,调节阀调节加入纯氮气中,配比气经混合罐混合,混合后的配比气经氢分仪分析,显示氢的百分比含量,氢分仪把氢的百分比含量转换成4-20mA的电流信号,智能显示调节仪把氢分仪的电流信号与设定值相比较计算,计算结果转换成4-20mA的电流信号驱动电气转换器,转换成气压信号,调节阀阀芯的行程和气压信号成正比,从而达到调节混合比例的功能。

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