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氪气最新用途及市场|纽瑞德气体

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2020-04-27 14:55:00【

氪气具有密度高、导热系数小、透射率大等性质。广泛应用于电子工业和电光源工业。纽瑞德高纯氪气供应,咨询热线:400-6277-838

 
氪具有比氩更大的相对分子质量和小的导热系数,使它成为优良的充填气。用氪气充填的等有:白炽灯、荧光灯、闪光弧光灯、碘灯等。氪灯比同功率的氟灯省电20%~25%,寿命长2~3倍。长寿命氪灯体积小,对矿井作业很适用。实验室里用到的连续紫外光等也可以用氪气充填。氪还能制成不需要电能的原子灯,用于无可用电源的工作场所。氪灯的透射能力特别强,可用于夜战中的越野战车做照射灯。在飞机机场跑道上,通常使用氪气充填的闪光弧光等做照明,因为它穿透雾的能力很强。
 
 
氪气的新用途是用于电子工业,准分子激光刻蚀(Kr+F):1997年起已用于0.25μm的集成电路硅片生产线(128M,256M,1G,4G等硅片的生产),新用途的开发也改变了实际生产中Kr过剩而Xe不足的问题。在准分子激光的应用中,基于安全的因素,在(Kr+F)混合气中含F的浓度控制在2.5%~10%(一般为5%)。其他还有(Kr+Ne+F)的三元混合气。
 
 
目前氪气已在铠侠(日本东芝)、SK海力士规模应用,市场有传闻三星也有导入计划。国内长江存储,大连英特尔已小规模在使用。氪气其在3D NAND上应用主要是深沟道槽的刻蚀与清洁。3D NAND的沟道槽纵深比大,按要求刻蚀好深沟道槽图形的重要性非常突出。据消息人士2019年年底预测,2020年该行业氪气的用量可达4000m3/月(没有考虑疫情影响)。随着5G、物联网技术、及各类电子产品快速迭代,大数据正呈现出爆炸式的增长,3DNAND芯片的需求也随之高速增长。因而氪气的使用量也随着增长,突显加剧氪气供需不平衡。
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