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韩国稀有气体“氖”成功实现国产化!

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-01-17 13:58:00【

 

随着近年来半导体市场的高速增长,半导体工艺中使用的氖 (Ne)、 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有气体的需求迅速增加。韩国稀有气体市场预计将从2020年约1600亿韩元增长到2023年约2800亿韩元,年均增长20%。然而,韩国目前100%进口稀有气体。

 

氖气是空气中含量仅有0.00182%的一种稀有气体,是半导体曝光工艺中使用的准分子激光气体的原料之一。过去,全部进口并依赖外国技术,由于贸易争端导致价格飙升和供应短缺,韩国曾试图将产品本地化。此次建成的装置每年可生产约22000Nm3高纯氖气,预计可满足国内需求的16%。POSCO于去年年底完成了产品质量评估,今年将完成设施竣工并正式开始商业生产。作为成功完成课题的奖励,TEMC获得了初期投资金的全部补偿,并取得了POSCO氖气的长期购买权。

 

浦项制铁1月12日在光阳工厂制氧厂举行了“氖气生产设备竣工和发货仪式”,该项目由韩国钢铁制造商浦项制铁(POSCO)与半导体专用气体公司TEMC合作。从2019年底开始推进氖气生产的完全国产化约两年。公司采用大型空分装置,以光阳制氧厂和TEMC技术为基础,自主开发了国内首个氖气生产设备。在韩国首次将半导体用稀有气体氖(Ne)的生产设备和技术本地化,并交付了第一批产品。TEMC利用自有技术对提取的氖气进行提炼后,完成了准分子激光气体生产全过程的国产化。

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