SF6因其具有良好的绝缘和灭弧性能，在电力行业中得到了广泛应用。电气设备在维护、检修和退役时会产生大量的SF6废气，但由于SF6气体化学性质稳定，极难分解，具有高温室效应潜在值（GWP）而被列为温室气体行列，SF6废气的处理对保护环境具有长远意义。等离子体法是利用等离子体中的有效活性物质与SF6发生反应，使其在短时间内发生分解，是目前比较流行的一种降解方式。介质阻挡放电（DBD）等离子体作为一种低温等离子体，实验设备和放电所需条件相对简单，易于控制，操作安全可靠等一系列优点使其广泛应用于处理挥发性有机物废气。