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硅烷制备多晶硅技术

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-12-14 14:12:00【

伴随着能源危机的不断加剧,国家关于清洁动力的展开越来越重视,光伏工业作为清洁动力的代表之一,敏捷占领市场并广受好评。跟着全球光伏商场的爆发性增长,作为光伏原料的多晶硅市场也是车水马龙,而多晶硅制备技术也在不断推陈出新,其中,改善西门子法、硅烷法、流化床法是市场应用最多的办法。

现在来说,成功完成多晶硅商业化出产的流化床装置都采用了硅烷流化床,其原料为硅烷氢气。硅烷易与其他氯硅烷别离,本身分化温度低,分化率高,副反应少,这就赋予了硅烷流化床法很大的优势:精馏、尾气处理工序简单,能耗和单体出资都能大大降低,反应转化率挨近100%,流化床电耗仅为改善西门子法的10%~20%。别的,由于反应彻底,副反应少,整个反应系统可以做到彻底闭路循环。

流化床法一般是以硅烷或氯硅烷作为硅源气、以氢气作为载气,在流化床反应器内预先放置的硅籽晶上发生气相堆积反应。跟着出产进行,从流化床底部不断排出长大的颗粒硅产品,一同从顶部添加适量的硅籽晶。

我们知道,多晶硅按纯度要求分为金属级、电子级(EG)和太阳能级(SOG),特别是关于电子级而言,要求多晶硅的纯度在11N。这就对多晶硅出产办法的产品纯度提出了难题。

由于关于产品纯度的苛刻要求,流化床法出产进程比其他流态化进程更为复杂,对装备制作也提出了更高的要求。

在反应进程中,硅烷气进入流化床后会敏捷分化,一部分发生异相反应,堆积至硅颗粒外表;另一部分发生均相反应,生成气相微核,该微核经过一系列聚合长大进程生成硅粉,在此聚合进程中还有一定份额粘附到硅颗粒外表,成为颗粒硅产品的一部分。这个复杂的进程导致了颗粒硅出产中某些问题会无法防止。

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