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高纯气体的常见杂质有哪些?

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2022-04-02 14:26:00【

 高纯气体的常见杂质有哪些?
    常规杂质:H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O
    特殊杂质:颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染

    杂质来源:原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染

    环境带入:空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分

    生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份
    生产工艺富集
    包装污染
    残气污染
    包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物
    分解聚合污染