六氟化硫具有卓越的电绝缘性，电绝缘能力是空气、氮气的2.5倍左右。六氟化硫具有很好的灭弧性能，其灭弧能力是空气的100倍左右，而且六氟化硫的化学性质非常稳定，所以六氟化硫被广泛用作绝缘气体，如六氟化硫继电器，六氟化硫高压断路器，六氟化硫互导传感器，六氟化硫避雷针等等。

  六氟化硫已经成为绝缘油之后的新一代绝缘性好，耐高压的绝缘介质。

  高纯六氟化硫气体是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫气体还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。

  在TFT-LCD面板厂及其他微电子行业，高纯六氟化硫气体常用作清洁气体和蚀刻气体，在光导纤维的生产过程中，也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。

  在镁合金、镁铝合金的冶炼过程中，常常用高纯六氟化硫气体或者六氟化硫和氮气的混合气体作为保护气体，其目的是防止金属镁及其合金被空气氧化。

  在医疗行业，六氟化硫还用于超声造影，主要是肝脏肿瘤的造影检查。在超声造影过程中，六氟化硫主要作为一种安全的造影剂使用，经静脉注射六氟化硫后，气体溶解于血液，每12分钟六氟化硫气体可以由呼吸方式排出一半。

  在大气污染监测和水文地质检测领域，常用六氟化硫气体作为示踪剂。因为六氟化硫具有无毒、安全、性质稳定、检验方法可靠、空气和水中中含量少等特性，六氟化硫常被作为气体示踪剂使用，六氟化硫的失踪范围可以达100km。

  由于六氟化硫化学性质稳定，分子量大（六氟化硫分子量146.06），其密度是空气的5.11倍，充入汽车轮胎或者篮球、足球中时，将能保持气压长期稳定。

  高纯六氟化硫气体是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫气体还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。

  六氟化硫在断路器中使用时就防患温度过低而导致出现液化六氟化硫。