新浪微博|腾讯微博|收藏本站|网站地图欢迎光临武汉纽瑞德特种气体有限公司!

氦气,氖气,六氟化硫等特种气体,纽瑞德专业!中国特种气体供应首选品牌
23年资深专家创办  国家科研单位指定供应商

全国服务热线:4006277838
纽瑞德感谢客户对其大力支持
当前位置:首页 » 纽瑞德资讯 » 气体指南 » 电子特气—三氟碘甲烷蚀刻技术

电子特气—三氟碘甲烷蚀刻技术

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-06-21 11:17:00【

三氟碘甲烷作为灭火剂具有灭火效率高、安全性能好、经济效用高、灭火后不留痕迹等特点,是哈龙1301优选替代品种,经NFPA的标准认证,可正式使用。在航空、航天等领域具有不可替代的作用。作为制冷剂,三氟碘甲烷不燃,具有油溶性和材料相容性很好的特点,被认为是传统氟利昂制冷剂组元的理想替代品之一。另外,三氟碘甲烷在含氟中间体、半导体蚀刻、发泡剂等其它领域也具有广泛的应用前景。

 
三氟碘甲烷(CF3I)作为半导体刻蚀气体用于3D NAND Flash先进制程,与同种刻蚀气体CF4,C4F6相比,三氟碘甲烷(CF3I)具有高选择性和高深宽比。三氟碘甲烷(CF3I)作为电气设备绝缘与灭弧气体用于温室气体SF6的替代,绝缘强度大约为SF6的1.23 倍以上,击穿分解后不会产生有毒产物。三氟碘甲烷(CF3I)作为灭火剂主要用于哈龙灭火剂的替代,具有灭火效率高、安全性能好、经济效用高、灭火后不留痕迹等特点。三氟碘甲烷作为制冷剂主要用于传统氟利昂制冷剂CFCs、HCFCs、HFCs的替代,具有不燃、油溶性和材料相容性很好的特点,已被联合国列入第3 代环保制冷剂的主要组元。
 
此外,三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用,是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体,可广泛应用于有机合成、生物化学、农药、医药、表面活性剂和染料等领域。
 
三氟碘甲烷,又称三氟甲基碘(以下称CF3I),分子式CF3I,代号FIC-13I1、Freon13I1、R–1311。其环保特性优异:ODP值为在0.0001以下,GWP值为1,大气寿命小于1.2天。具备安全性好,无毒、阻燃、油溶性和材料相容性好等特点。
 
目前,CF3I的生产、纯化技术一直由发达国家化学品公司垄断,严重依赖进口,受控于国际市场,价格高,订货周期长、运输困难。国内CF3I的研究、生产尚处于初步阶段。伴随着国际环保公约阶段性强制推行,国内对温室气体减排要求提高,低GWP气体CF3I备受推崇,随着CF3I的应用开发日益增加,作为灭火剂、混合制冷成分、刻蚀剂、绝缘气体、含氟中间体等使用,其市场需求明显增加,国产化规模生产技术的开发日益迫切。
此文关键字:特种气体知识 气体知识

相关资讯