电子特气是电子工业的关键原料，是名副其实的电子工业“血液”，贯穿着半导体

各步工艺制程。它的纯度和洁净度直接会影响到光电子、微电子元器件的质量、

性能、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确

性和准确性。

狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体，据统计，目前常用的电

子气体纯气有60多种，混合气80多种，按其门类可分为纯气，高纯气和半导体

特殊材料气体三大类。主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、外延生长、

离子注入、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节。电子气体对于半导体集成电路芯片

的质量和性能具有重要意义。

随着半导体集成电路技术的发展，对电子气体的纯度和质量要求越来越高，电

子气体目前发展目标是增加品种、增加产量、提高国产化率，并向完成 对特气

生产及应用的全套技术开发的目标努力，技术包括：高危、易燃易爆、腐蚀性、

剧毒气体纯化、监测、充装、输送、贮存技术，以及安全、环保技术、现场配

气技术、回收与再利用技术等。

半导体电子特气行业上个月较高的技术壁垒。半导体电子特种气体在生产过程

中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术，

每一步均有严格的技术参数要求和质量控制措施。

电子特种气体的合格性十分的重要，特气若不合格轻则导致产品严重缺陷，重

则导致整条生产线被污染及至全面瘫痪，其纯度要求极高，纯化、杂质检测、

储运技术面临全方位考验。因此，集成电路技能快速发展，对电子气体的种类、

数量、质量、安全性以及安稳性等方面均提出了更高的要求。