电子特气的重要作用解密

什么是电子特气？

电子特殊气体是电子气体的重要分支，是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少

的原材料。电子特殊气体种类繁多，广泛应用于离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等环节。

它被称为集成电路、液晶面板、LED和光伏材料的“食物”和“来源”，决定了设备的最终产量

和可靠性。电子特殊气体广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技产业，或

用于薄膜沉积、腐蚀、混合、钝化、清洁，或用于载气、保护气氛等。由于半导体和微电

子技术的发展，对电子特殊气体的纯度提出了越来越高的要求，电子特殊气体的净化变得

越来越关键和重要。

电子特气上游多为III(硼、铝、镓)、IV(碳、硅、锗)、V(氮、磷、砷)和卤素(氟、氯)的基础

化工行业在集成电路、面板、LED等领域的各个工艺环节都有多种用途。电子特气是集成

电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少的原材料。2021年，电子特气在集成电路中的

应用占43%，其次是显示面板，占21%，LED和光伏分别占13%和6%。主要应用环节包括

离子注射、腐蚀、气相沉积、掺杂等。

常见的电子特气有哪些？

C4F6纯度高、 SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O

、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。

为保证半导体设备的质量和成品率，特种气体产品应满足“超纯”和“超纯”的要求，“超纯”要

求气体纯度达到 4.5N、5N 甚至 6N、7N作为特种气体的核心参数，每次纯度增加一个N，

粒子和金属杂质的浓度降低一个数量级，工艺复杂性和难度都会显著提高。（N 是 Nine 简

写，几个N 有几个代表 9，例如3N 纯度为99.9%)，“超净”要求严格控制粒子和金属杂质的

含量。目前国内企业普遍实现5-6n，而林德、法液空等海外龙头企业技术可达6-9n。

市场如何？

2016年，中国特种气体市场规模为156亿元，2020年达到282亿元。2016年至2020年，中

国特种气体市场平均增速达到15%以上，增速明显。有机构预测，2020年以后仍将保持15%

以上的高速增长趋势，2025年中国特种气体市场预计将达到691亿元。同时，国内电子特种

气体行业技术研发稳步推进，有望实现进口替代。2020年，全球电子气体市场规模为58.5亿

美元，预计2025年将超过80亿美元，年复合增速将达到6.5%。未来国内电子特种气体市场

将有很大的增长空间。