新浪微博|腾讯微博|收藏本站|网站地图欢迎光临武汉纽瑞德特种气体有限公司!

氦气,氖气,六氟化硫等特种气体,纽瑞德专业!中国特种气体供应首选品牌
23年资深专家创办  国家科研单位指定供应商

全国服务热线:4006277838
纽瑞德感谢客户对其大力支持
当前位置:首页 » 纽瑞德资讯 » 气体指南 » 电子气体国产化,为何难以实现?

电子气体国产化,为何难以实现?

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-10-16 14:21:00【
广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体,是重要原材料之一;狭义的“电子气体”特指半导体行业用的气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂等工艺,被称为半导体、平面显示等材料的“粮食”和“源”。
 
在硅片制造厂,一个硅片需要两到三个月的工艺流程,完成450道或更多的工艺步骤才能得到有各种电路图案的芯片。这个过程包括外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等诸多工序,需要的高纯电子化学气体及电子混合气高达30多种以上,且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。
 
电子气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料。随着半导体集成电路技术的发展,对电子气体的纯度和质量也提出了越来越高的要求。电子气体的纯度每提升一个数量级,对下游集成电路行业都会产生巨大影响。
 
电子气体主要应用于半导体、平面显示、太阳能电池等领域,其中在集成电路中的应用占比最高,达到42%,其次是平板显示行业,占比37%。在晶圆的电子级硅制造、化学气相沉积成膜等工艺中均需电子气体。
 
深度提纯难度大,而纯度是电子气体质量最重要的指标
芯片加工过程中,微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体度往往要求5N-6N级别,还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求,技术难度也将显著上升。
 
输送及储运对器件要求极高
高纯气体的生产和应用要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口,要求相应器件耐高压、耐高真空,对于腐蚀性气体要求耐腐蚀,以避免二次污染的发生。而且随着气体纯度的提高和产品种类的增多,对新的运送和储存设备提出了新的要求。
 
分析检测与质量控制要求水平高
超高纯电子气体需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析,金属离子更是要求检测限达到ppb(10-9)至ppt(10-12)级别。
 
国际市场集中度极高,国内市场外资企业垄断严重
据国际半导体协会Semi统计2016年全球集成电路用电子气体市场规模约为36.1亿美元。我国集成电路用电子特气的市场规模约46亿元。2016年我国电子特气市场规模达到46亿元。
 
虽然我国电子气体已经摆脱完全依赖进口的状态,但面对国外化工巨头已经实现的市场垄断,国内企业依然面临巨大的竞争压力。中国国内电子特气企业技术与国外仍然存在较大差距,电子特气市场仍被外企主导。 
 
目前虽然国内已经有了具有一定代表性的电子气体企业,但国内目前在高端市场还处在技术比较落后的阶段,产品在纯度和质量上与国际大企业存在一定差距,国内电子气体企业规模较小且一般为区域性企业,缺乏领军型企业,产品种类也不够丰富,国产化道路任重道远。
 
此文关键字:特种气体知识 气体知识

相关资讯