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小议六氟化硫(SF6)回收技术与应用

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2014-08-10 11:26:00【

  考虑到环境污染愈来愈严重,科学家积极且持续地在不同项目上发展绿色工艺。学者提出其中之一项,在工厂制程设备验证六氟化硫(SF6)回收系统,该系统除了具有经济效益,且能达到二氧化碳(CO2)排放当量减量效果。这个工艺流程包含制程尾气的前处理,回收气体的分离、纯化、储存、供应;作为制程生产使用。

 

SF6-纽瑞德特气

 

  一般而言,全氟碳化物(Perfluorocarbon PFC)减量的应用,包含有制程减量,其他低二氧化碳当量气体的取代,制程废气燃烧处理,以及本次所提的气体回收再利用。在这些方法中,工艺困难度最高的,属于回收再利用,因此在工业上的应用也很少有成功的案例。借由本文的讨论,提供面板厂,除了常用的制程废气燃烧处理方式之外,另一个在CO2排放当量,有著相同处理效能的工艺设备选择机会。值得顺带一提,因为采取回收气体再利用,六氟化硫气体在消费工厂的整体使用量减少,所以在製造工厂因相对减产,造成CO2排放量当量减少的效益,有别于消费工厂利用制程废气燃烧处理方式者。

 

  在实验过程中,数据表明其中经dry Etching制程,SF6裂解率一般而言在40%~60%,残存的SF6若使用回收处理设备将可进一步回收使用;若使用燃烧式处理设备,则是直接将SF6燃烧,较不经济。更进一步讨论,未来如尝试改变适当的制程条件,在相同的SF6製程用气量前提之下,著眼于提高可回收的SF6气量,或许将可达到更高的经济效益,这个可行性,则有待未来再进一步深入的研究。

 

  经过一系列的实验,学者对于六氟化硫(SF6)回收系统得出这样一个结论:

 

  (1)整体回收纯化系统进口的规格管制;虽然回收系统主要是去除不纯物为主,但腐蚀性的有害物质,必须设置前处理设备,防止纯化设备被破坏。 

 

  (2)目前的回收设备初设成本较高,因此在SF6的用量须达一定规模,较具回收经济效益。

 

  (3)回收气体中大部分是氮气,若能予以减量,可降低成本。

 

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