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特种气体在蚀刻中的应用
刻蚀分为湿法蚀刻和干法蚀刻。???硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙烷/氧气、三氟化氮等。???蚀刻气体气体工业名词,蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表…更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气 体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体, 如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作 用。更多 +
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四氟化碳CF4化学品安全技术说明书MSDS
四氟化碳CF4化学品安全技术说明书MSDS 四氟化碳,四氟化碳气体,四氟化碳标准气体,四氟化碳混合气体 一、化学品名中文名称:四氟化碳MSDS别 名: 四氟甲烷英 文 名:Carbon tetrafluoride二、成分组成信息名 称:四氟化碳MSDS有害成分:受热分解后可产生氟化氢。浓 度:99.999%分 子 量:88.01分 子 式:CF4CAS: 75-73-0三、危害性概述危险性类别:第2.2类 不燃气体侵入途径:吸入健康危害:吸入高浓度的四氟化碳出现呼更多 +
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六氟化硫气体抽样检测有哪些
六氟化硫气体的质量应按照国家标准的规定进行验证。测试项目包括空气(N2、O2)、四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)、SF6微水测试(H2O)、酸度(HF)、可水解氟化物(HF),矿物油和毒性生物测试。试验结果应符合GB/T12222的规定。 (1) 当六氟化硫气体中的湿度相对较高时,当设备中发生电弧时,气体的电弧分解产物会产生许多有毒物质,如SOF2、HF等。,这会腐蚀断路器的内部结构材料并威胁维护人员的人身安全。此外,当湿度高时。随着温度的变化,绝缘部件表面会产生冷凝,导致表面翻转。它降低了绝缘更多 +
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四氟化碳仅仅只是一种超低温冷媒吗?
CF4,中文名称四氟化碳、四氟甲烷,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。也被称为R-14制冷剂,别名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名称有Freon 14等。 四氟化碳气体理化特性 在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7更多 +
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三氟化氮等特种电子气体高速发展
近年来,《中国制造2025》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》等政策扶持,我国超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池等产业迅速发展。同时,含氟特种电子气体伴随这些行业的高速发展增长亦十分可观。 常用的含氟特种电子气体有六氟化硫(SF6)、六氟化钨(WF6)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)等。 三氟更多 +
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标准气体生产厂家|纽瑞德特种气体|湖北气体生产厂家
在我们生活中存在着很多的气体,有些气体对我们的帮助是十分大的,而标准气体就是这些气体的统称,标准气体可以帮助我们进行很多的工作,电子、太阳能、半导体、电力、科研、照明、制药、石油化工、建材和食品等行业都有着广泛应用。 纽瑞德由从事气体行业23年的资深技术人员创建,引进美国先进的气体生产技术、分析的设备和质量管理理念。主要经营:稀有气体(氪、氙、氖、氦)、同位素产品、标准混合气体、电子气体(六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等)、高纯/超纯气体(氩、氮、氧、氢等)。 公司生产工艺和产品质更多 +