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混合气体和标准气体的不同
电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。 1、电子混合气体的气瓶处理 同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无更多 +
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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极 强,CF4 还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超 净和多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前 而言,CF4更多 +
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工业气体的分类与应用
1.工业气体定义: 在我国的工业生产上,把常温、常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。一种瓶装压缩液态气体,在常温常压下呈气态,气体种类有繁多,主要用于各种工业制造方面。 2.工业气体应用: 工业气体产品已是现代工业的重要基础原料。工业气体被喻为工业的“血液”。随着中国经济的快速发展,工业气体作为国民经济基础工业要素之一,在国民经济中的重要地位和作用日益凸显。其应用范围广泛分布在:石油、化工、冶金、钢铁、机械、电子、电力、玻璃更多 +
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环境监测中标准气体使用问题的探讨
本文就日常使用标准气体校准仪器设备过程中总结出一些注意要点,以供同行参考。 引言: 随着国家经济和科技的不断发展,气体被广泛应用于化工、冶金、航空航天和环保等各个领域。作为气体行业的一个重要分支,对于工业生产起到规范和发挥着质量保证的作用。标准气体(又叫校正气体)属于气态的标准物质,是高度均匀的,良好稳定和量值准确的测定标准。在环境监测过程中,标准气体可以用于校准测试仪器和质量控制计划中的期间核查,正确的使用标准气体对测试结果的准确性和可靠性提供了关键的技术保证。更多 +
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氦气、标准气体等特种气体在新兴分散用气市场的8大应用
根据“十三五”规划,国家近几年将重点发展电子等八大行业,促进行业转型升级,这将会带动氦气、标准气体等特种气体的相关高值下游领域对特种气体的需求,从而促进特种气体行业发展。 过去特种气体主要在大宗集中用气市场,主要应用于钢铁、有色金属、石油化工及煤化工等行业,以现场制气集中供应的方式为主,市场客户对单一气体使用量巨大但用气的品种较少。 今后,特种气体将向新兴分散用气市场拓展,主要集中在电子、光纤、光伏、医疗、食品、生物医药、电光源、机械制造及精细更多 +
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混合气、标准混合气、电子气体等特种气体国产化替代趋势明显
经济新常态下更加强调经济结构的优化升级,集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保、医疗等产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出。 特种气体作为上述产业发展不可或缺的关键性材料,其市场规模将保持持续高速发展。另外,由于在建国初期中国的工业化程度不高,中国在特种气体技术储备不足,随着中国的技术进步,国产化替代趋势愈发加快。 在特种气体的应用领域内,单一高纯气体的需求是有限的,更多的是一些混合气、特殊混合气、标准混合气。这类气体种类繁杂,需求量大,占更多 +
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5G时代,锗烷市场需求凸显
锗烷(GeH4)和乙锗烷(Ge2H6)均为电子工业用的关键气体材料,对整个行业的可持续发展起着重要的支撑配套作用。锗烷主要用于半导体制程中在硅片上沉积SiGe(硅锗)层。硅锗材料的载流子迁移率高、能带宽度随Ge的组分变化而连续可调,因此,硅锗材料在微电子和光电子方面有重大的应用价值。5G时代,光通信芯片崛起,光通信传输芯片主流采用SiGe工艺来满足其对高性能和低功耗的要求。国家发改委《增强制造业核心竞争力三年行动计划(2018-2020年)》曾对锗烷纯度和装置规模就提出过具体要求。锗烷也用于红外光学材料、航天器空间更多 +
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科技创新助力电子气体产业发展
近年来,5G,人工智能(AI)和物联网等技术带动了泛半导体的高速发展。电子材料是半导体的支撑产业,电子气体是半导体制造中仅次于晶圆的第二大类重要材料,品类多达百余种。日前,2021中国先进电子材料产业发展大会上发表了《科技创新助力电子气体产业发展》通过对国内电子气体材料“卡脖子”现状深入分析,指明了电子气体技术的未来发展趋势。 电子气体核心技术通常有四个大类,即合成技术、纯化技术、洁净灌装技术和检测技术。计总通过科利德公司电子级一氧化氮(NO)的生产案例向大家介绍了合成更多 +
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电子级氯化氢市场迎来重大机遇
电子级氯化氢属于国家重点鼓励发展类项目,随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于硅外延片和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。 硅外延片下游终端应用广泛,近年随着新兴技术的出现其下游应用不断拓宽,新兴应用市场不断涌现。通信、计算机、消费电子、光伏、智能电网、医疗电子等终端应用领域的快速发展以及人工智能、物联网等新兴产业的崛起极大地促进了集更多 +