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我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造
在芯片制造过程中，电子特气扮演着重要角色。包括光刻、刻蚀、离子注入等步骤，都需要使用各种类型的电子特气。硅片刻蚀气体主要指氟基气体，掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体，如砷烷、磷烷等。更多 +
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磷烷PH3化学品安全技术说明书MSDS
磷烷PH3化学品安全技术说明书MSDS磷烷,磷烷气体,磷烷标准气体,磷烷混合气体 第一部 分化学品化学品中文名称：磷烷msds化学品俗名或商品名：膦、磷化氢英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;phosphorus hydride; Phosphorus trihydride第二部分 成分/组成信息化学品名称：磷烷化学式：PH3有害物成分：PH3浓度：99%度更多 +
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标准气铝合金钢瓶的特殊处理技术
A.标准气钢瓶的CL- 1 型特殊处理技术 该系列产品的特点是内表面涂覆光洁、憎水、耐蚀及化学惰性的涂层，具有很强的抗腐蚀和保持气体纯度的能力。可用于充装高品级电子气体，如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氢、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等气体，国内首创，达到国际同类产品先进水平。该产品正逐步代替进口特种钢瓶，用于充装国内高品级特种气体和出口用特种气体。 合作方式：提供各种规格的特殊处理气瓶。 B.标准气铝合金钢瓶的CL-2型特殊处理技术 &nbs更多 +
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2019年电子气体、标准气体、高纯气体的发展现状
随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展，特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，从应用领域划分，主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。 近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增，据不完全统计，我国已有的特种气体达260余种。 随着非低温气体分离技术（吸附、膜分离）、混配技术和提纯技术的发展，更多的特种气体产品将逐步走向市场。 电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅烷、磷烷等更多 +
