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我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造
在芯片制造过程中，电子特气扮演着重要角色。包括光刻、刻蚀、离子注入等步骤，都需要使用各种类型的电子特气。硅片刻蚀气体主要指氟基气体，掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体，如砷烷、磷烷等。更多 +
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砷烷AsH3化学品安全技术说明书MSDS
砷烷AsH3化学品安全技术说明书MSDS 砷烷,砷烷气体,砷烷标准气体,砷烷混合气体 第一部分 产品概述产品名称：砷烷msds化学名称：砷化氢分子式：AsH3代名称：三氢化砷第二部分 主要组成与性状纯度：＞99%CAS 号码：7784-42-1暴露极限：OSHA：PEL=0.05ppm ACGIH：TLV-TWA=0.05ppm NIOSH：IDLH=3ppm第三部分 危害概述紧急情况综述 砷烷高毒、易燃、无色，在气瓶中是一种液化气体，70F时蒸气压为203.2ps更多 +
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标准气铝合金钢瓶的特殊处理技术
A.标准气钢瓶的CL- 1 型特殊处理技术 该系列产品的特点是内表面涂覆光洁、憎水、耐蚀及化学惰性的涂层，具有很强的抗腐蚀和保持气体纯度的能力。可用于充装高品级电子气体，如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氢、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等气体，国内首创，达到国际同类产品先进水平。该产品正逐步代替进口特种钢瓶，用于充装国内高品级特种气体和出口用特种气体。 合作方式：提供各种规格的特殊处理气瓶。 B.标准气铝合金钢瓶的CL-2型特殊处理技术 &nbs更多 +
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台大疑似砷化氢外泄，砷化氢泄漏究竟该怎么办呢？
据台湾“中时电子报”报道，11月5日上午10时许，国立台湾大学电机系二馆惊传疑似砷化氢的不明气体外泄，由于适逢期中考，校方紧急疏散师生，11人预防性送到医院检查。 台湾网友指出，气体是从4楼外泄，出事的实验室是做半导体的，这种气体广泛用在制造GaAs这种半导体上面，其本身是无色无臭气体，易燃且极毒。报道说，详细情况及出事原因到底为何，仍有待进一步了解。 在半导体中应用,砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂；硅中n型扩散；离子注入；生长砷化镓(GaAs)、磷更多 +
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超高纯气体了解一下！
首先，我们来了解一下什么是“超纯气体”呢？ 超纯气体指纯度高于99.99%的气体,为适应一些科学研究和尖端技术的特殊需要而制备。一些对气体要求特别纯净的部门，需要超纯气体的纯度高达99.9999%以上,每升气体中粒度大于0.5μm的尘粒数应小于三个。 目前，超纯气体的品种发展十分迅速，1981年至今，单一超纯气体已有120多种，混合超纯气体12类。 除以上的单一超纯气体还有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、顺丁烯、丁二烯更多 +
