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我的中国“芯”——哪些电子特气参与芯片制造
在芯片制造过程中，电子特气扮演着重要角色。包括光刻、刻蚀、离子注入等步骤，都需要使用各种类型的电子特气。硅片刻蚀气体主要指氟基气体，掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体，如砷烷、磷烷等。更多 +
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这些行业即将迎来“电子特气革命
这些行业即将迎来“电子特气革命，电子特气是工业气体的一种，规模相对不大但是对纯度、混配精度要求极高的一种高毛利率产品，从全球电子特气的下游分布数据来看，集成电路（71%）、显示面板（18%）、LED（8%）、光伏（3%）；从中国地区的分布来看，集成电路（42%）、显示面板（37%）、光伏（13%）、LED（8%）。我国集成电路与全球实力对比存在一定差距，未来或将是拉动国内电子特气需求的主要动力。更多 +
