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易燃易爆有毒类电子工业用硅烷锗烷气体检测新技术通过验收
易燃易爆有毒类电子工业用硅烷锗烷气体检测新技术研究通过验收,本项目所设计和制备的气体预处理系统有望发展建立一种新的快速、安全、简便的易燃、易爆、有毒类电子工业气体纯度检测分析技术,也有望推广到其他类似
电子工业气体纯度的检测
,具有一定的学术理论意义,且具有广阔的应用前景。
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