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反应曲面法——氯气提纯新工艺！
氯气于工业中用途广泛，电子级的氯气，则因其具强氧化性且对硅、二氧化硅具良好选择性，而使用于半导体之乾式蚀刻制程与热氧化层之品质改善工作。以工业级的氯气作为原料，利用吸附，蒸馏等化工单元操作方式，使原料中杂质与氯气分离，达到将工业级的氯气纯化为纯度更高的电子级的氯气之目的，作为下游半导体业者蚀刻等用途。更多 +
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