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如何正确选用高纯气体,实现技术与经济的平衡
正确选择电子工业中所需的高纯气体,需要考虑纯度、经济性以及杂质对工艺的危害。根据气体中杂质的浓度和对工艺的影响,可以选择适合特定需求的高纯气体等级。仅仅依靠气体的纯度百分比是不全面的,因此应综合考虑多个因素进行选择。
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