六氟化硫在常温常压下是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀性的气体，气体密度61139g/L，其化学稳定性强，500～600℃不分解，和酸、碱、盐、氨、水等不反应，在电弧作用下(几千度)分解为S和F的原子气，但电弧一旦解除，便在0-5～10-6s内复合成SF6。六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能，其耐电强度为同一压力下氮气的215倍，击穿电压是空气的215倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油的新一代超高绝缘介质材料。
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六氟化硫制作：工业上六氟化硫气体通常是由电解产生的氟在中
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