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六氟乙烷和八氟丙烷:可靠的绝缘剂和冷冻剂选择
六氟乙烷,C2F6,R-116)和八氟丙烷(C3F8,R-218)是两种常见的氟化碳化合物。它们广泛应用于各种 工业领域,具有多种功能和用途。更多 +
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特种气体在蚀刻中的应用
刻蚀分为湿法蚀刻和干法蚀刻。???硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙烷/氧气、三氟化氮等。???蚀刻气体气体工业名词,蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表…更多 +
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六氟乙烷C2F6化学品安全技术说明书MSDS
六氟乙烷C2F6化学品安全技术说明书MSDS 六氟乙烷,六氟乙烷气体,六氟乙烷标准气体,六氟乙烷混合气体 一、基本信息国标编号:22034CAS:76-16-4中文名称:六氟乙烷msds英文名称:Hexafluoroethane别 名:R116;全氟乙烷分子式:C2F6;CF3CF3分子量:138.0熔 点:-101℃密 度:相对密度(水=1)1.61;蒸汽压:/溶解性:微溶于水稳定性:稳定外观与性状:无色、无气味、非易燃的气体,在24.3℃以上时不能保持液态,通常装在更多 +
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含氟蚀刻气体的种类和介绍
目前,氟化蚀刻气体是一种隐形的“刀具”,广泛应用于半导体或LCD前端工艺,甚至可以在微米厚的薄层上切割纳米级凹槽。你能仔细想想这幅画吗? 那么,氟化蚀刻气体是什么呢?它们是如何工作的? 用于蚀刻的气体称为蚀刻气体,通常是氟化物气体,如四氟、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蚀刻气体是电子气体的一个重要分支,是制造超大集成电路、平面显示器、太阳能电池和玻璃纤维等电子工业不可或缺的原材料。它们被广泛用于半导体工艺,如薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积和扩散。国家发展改革委《产业结构调更多 +
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三氟化氮等特种电子气体高速发展
近年来,《中国制造2025》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》等政策扶持,我国超大规模集成电路、LCD器件、非晶硅薄膜太阳能电池等产业发展迅速。与此同时,随着这些行业的快速发展,含氟特殊电子气体也有了很大的增长。 常见的含氟特殊电子气体有六氟化硫(sf6)、六氟化钨(WF6)、四氟化物(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)。 三氟化氮(NF3)是一种含氟特殊气体,是市场更多 +
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三氟化氮等特种电子气体高速发展
近年来,《中国制造2025》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》等政策扶持,我国超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池等产业迅速发展。同时,含氟特种电子气体伴随这些行业的高速发展增长亦十分可观。 常用的含氟特种电子气体有六氟化硫(SF6)、六氟化钨(WF6)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)等。 三氟更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯电子行业中重要的蚀刻气体
蚀刻是电子行业重要工艺,蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作为新一代环保电子气体,电子级C4F6成为集成电路IC芯片等制造时必不可少的刻蚀气体,其GWP值简直为0,而且能完结纳米级沟槽的加工,成为电子工业领域内一把神奇的“刻刀”,比γ刀还γ! 2015年,浙化院特种气体研发团队提出自主开发新一代含氟电子气体C4F6的提纯技能。 今天纽小编就带大家一起看看C4F6是怎样更多 +