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蚀刻工艺中的高温室效应潜力气体
本文介绍了几种高GWP气体，如四氟化碳、八氟环丁烷等在蚀刻过程中对环境的负面影响，并探讨了低GWP替代气体六氟丁二烯的优势，呼吁采用更环保的蚀刻材料以减少温室效应。更多 +
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江西华特电子特气项目年产1936.2吨 震撼发布！
江西华特电子化工有限公司计划在江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区现有厂区投资17400万元建设年产1936.2吨电子特种气体项目。该项目涉及三氟化氮和六氟丁二烯等优质电子气体的生产，环评公布后备受关注。更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯电子行业中重要的蚀刻气体
蚀刻是电子行业重要工艺，蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作为新一代环保电子气体，电子级C4F6成为集成电路IC芯片等制造时必不可少的刻蚀气体，其GWP值简直为0，而且能完结纳米级沟槽的加工，成为电子工业领域内一把神奇的“刻刀”，比γ刀还γ！ 2015年，浙化院特种气体研发团队提出自主开发新一代含氟电子气体C4F6的提纯技能。 今天纽小编就带大家一起看看C4F6是怎样更多 +
