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高纯硅烷和普通硅烷的品质指标对比
高纯硅烷的品质无统一规定,各个生产单位生产的硅烷品质通常有微小差别。下标是5N、6N级高纯硅烷和普通硅烷品质指标。 从表中可以看出,5N级硅烷除氢气、氦气外,杂质气体氧(氩)、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv,其他杂质气体均在0.2ppmv。6N级硅烷均控制在0.1ppm。普通硅则高了一个数量级,氯化物甚至达到了15ppmv,高了两个数量级。更多 +
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国内高纯硅烷灌装流程
高纯硅烷灌装前,首先利用高纯氮气、氦气对系统进行高压检漏,真空置换。然后分析气源,气瓶是否合格,待一切准备就绪后,生产储罐输送来的高纯硅烷气经压缩机增压后通过灌装控制面板充入已准备就绪的容器中,完成灌装后,系统自动切断。随后更换下一批容器进行灌装。如果灌装时间间隔较长,灌装完成后,应对系统进行减压、置换,不可使系统中长期存有硅烷。 硅烷灌装示意流程见下图更多 +