四氟化硅

中文名称：四氟化硅

包装规格：10L、47L

英文名称：Silicon Tetrafluoride

分子式：F4Si

CAS：7783-61-1

电子级四氟化硅

高纯电子级四氟化硅（SiF4）作为电子工业重要原料之一，具有较高的氟硅比，被广泛应用于光纤、半导体或太阳能电池的生产，是电子产业核心制造业的基础。它可以高效刻蚀氮化硅、硅化钽等芯片材料，作为P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源。Chemicalbook特别在新一代芯片制程的高深宽比、大容量金属层间绝缘介质加工工艺中，四氟化硅作为硅源可以达到较高的化学沉积速率，制成更优越的低介电常数SiO2薄膜。另外，四氟化硅也是光导纤维制造工艺的主要原料和光纤行业中硅基半导体离子注入制程的关键成分。

用途

用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂，制造纯硅的中间体。

危险特性

不易燃。易水解成氟硅酸，在潮湿空气中形成氟化氢。具窒息性、刺激性和腐蚀性。对眼睛、皮肤、粘膜和呼吸系统有严重损害。局部腐蚀作用强，能引起脱钙中毒，经过长期的痛苦而致Chemicalbook残废。吸入气体会造成呼吸困难，出现肺水肿及化学性肺炎。同时可见牙齿酸蚀症所致的脱钙，因氟慢性中毒导致骨硬化症。大鼠吸入LC50300ppm。受热后瓶内压力增大，有爆炸危险。

贮运须知

装于特殊钢瓶内，贮于阴凉、通风的仓库内。远离热源和火源。防止受潮和雨淋。须贴“毒气、腐蚀品”标Chemicalbook志。航空、铁路严禁运输。火灾时可用水冷却容器，关闭阀门，切断火源。用二氧化碳、干粉、干砂灭火。禁止用水。

急救措施

眼睛接触时，用大量水冲洗，并就医诊治。皮肤接触时 先用水冲洗，再涂敷氧化镁甘油软膏，如已灼伤应立即就医。吸入气体时，立即将患者移至新鲜空气处，安置休息并保暖。迅速送医院救治。