中文名称：六氟乙烷
产品纯度：99.9999%包装规格：47L
英文名称：Hexafluoroethane
分子式：C2F6
CAS：76-16-4
用途：在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。亦可用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂。
全国服务热线： 4006277838
中国特种气体供应首选品牌23年资深专家创办
国家科研单位指定供应商
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