氩气纯化的方法

氩气纯化的方法

纯度是评估气体品质的一项标准，对于气体而言尤为重要。作为一种惰

性气体，氩气被广泛应用于单晶和多晶生产的保护气体中。为了确保硅

晶体的品质，选择高纯度的氩气至关重要。这不仅能够延长晶体的使用

寿命，还能够满足市场的需求。
一般来说，氩气的净化是通过使用清洁装置来完成的。氩气的净化方法

可以分为直接脱氧法和吸气剂提纯法两种。
直接脱氧法：通过让活性金属与氩气中的氧发生反应，将氩气中的氧分

解掉，从而实现脱氧的目标。此外，利用分子筛吸附作用，可以去除氩

气中的水分子，使得氩气的水含量控制在小于1ppm以下。
清洁吸气剂的方法：使用吸气剂清洗剂或干燥剂。吸气剂能够与气体中

微小的杂质结合，使气体变得更加纯净。通过使用吸气剂净化方法处理

，高纯度氩气的纯度可达到六个九。
以上列出的两种方法是对氩气净化方法的简要介绍。相较而言，吸气剂

清洗方法对设备的投资较大，但能够达到更高的纯度。这一方法在工业

领域被广泛应用。