四氟化碳，满足半导体的“洁癖”

随着半导体行业的飞速发展，对于半导体微制造过程中的高纯度和高可靠性要求也越来

越高。而在半导体微制造过程中，清洗、刻蚀、去污等过程都是必不可少的，所以，半

导体具有无与伦比的“洁癖”，因此清洁剂也成为关键材料之一。而四氟化碳，就是一种

有效的清洁剂，在半导体行业发挥着极端重要的作用。

据国内知名特种气体公司武汉纽瑞德特种气体有限公司介绍，四氟化碳由于其优良的化

学性质，可以有效地清洗半导体表面，洁净度高、不产生残留物、容易挥发、不易燃等

特点，因此被广泛应用于半导体清洗过程中。

此外，在半导体制造过程中，刻蚀也是一样重要的一步。而四氟化碳可以通过高频电力

场使其成为离子，进而起到刻蚀的作用。与其他刻蚀气体相比，四氟化碳的刻蚀速度较

快，刻蚀后的表面质量较好。

在半导体生产过程中，掌握去污技术非常重要。而四氟化碳具有优异的物理和化学特性

，可以迅速完成去污任务，且无需腐蚀表面。

与传统的有机溶剂相比，四氟化碳由于其具有较高的化学活性和刻蚀性，可以加速清洁

过程的完成，减少对清洁板的腐蚀。与纯水比较，四氟化碳可以有效地清洗表面高深的

缝隙和污垢，有助于提高清洁度。

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