六氟化硫的化学性质极为稳定。纯六氟化硫气体无毒，
但在大电流下，由于电弧放电强烈，可产生低硫、低氟化合物。这些物质反应性很强。当有水和氧气时，它们会与电极材料和水发生更多的反应，分解它们，产生有毒或剧毒气体。
这些有毒气体主要危害人体呼吸系统。中毒后可能出现感冒、皮肤过敏、恶心、呕吐、疲劳等不良反应。当吸入剂量较高时，后果更为严重。
因此，在对SF6设备进行维护和测试时，应采取以下保护措施：
一。工作场所应通风良好，维修人员应处于迎风位置；
二。戴防毒面具和防护手套；
三。回收不适合直接排入大气的排放气体或通过管道排放到下水道；
四。休息前或工作后，用肥皂和大量水彻底清洗面部、颈部、手臂和手；
五。如果意外接触大量气体，应立即清洗和更换衣服，并送往医院进行观察和治疗。
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