电子工业：六氟乙烷作为等离子体蚀刻的工作气体，在微电子工业的发展中发挥着重要作用，是处理超大规模集成电路的必要介质；
2.制冷和空调行业：六氟乙烷用作制冷和空调的制冷剂。六氟乙烷也可以与HFC-23形成共沸物R-508B，这不会破坏臭氧层。R-508B在多级压缩循环的低温段中用作CF-13和R-503的替代品；
3.化学工业：六氟乙烷可作为化学反应中的氟化物添加剂；
4.能源工业：六氟乙烷可作为电气设备的绝缘剂和高介电强度的冷却剂；
5.其他：六氟乙烷可用于设备表面清洁和纤维生产。
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