六氟化硫设备内部水分的主要来源有:
① 六氟化硫新气中含有的水分;
② 设备组装时进入的水分;
③ 固体绝缘物件中释放出来的水分;
④ 运行中透过密封件渗入的水分;
⑤ 运行中多次补气、测试过程中进入的水分;
⑥ 气室内吸附剂失效。
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中国特种气体供应首选品牌23年资深专家创办
国家科研单位指定供应商
2023-06-20 08:50:53
工业六氟化硫的高效生产揭秘三步纯化工艺,消除设备腐蚀风险六氟化硫:半导体制造的纯净动力六氟化硫安全使用指南科技赋能,纽瑞德六氟化硫产品引领行业新标杆