SF6是无色、无味、无毒、不可燃的常温常压化学惰性气体。其密度约为空气的6倍，在一定压力下可液化。
SF6气体由于其在电气设备应用中优异的电气性能，大大提高了设备运行的稳定性和可靠性，从而大大降低了维修试验人员在设备日常检查、运行和维护方面的劳动强度。由于这种绝缘介质的应用，也促进了电网技术的进步，加快了电力建设的速度。
六氟化硫纯SF6气体的毒性和安全性是无毒的，但在国际有毒物质分类中也被认为是低毒的。
一些国家规定工作场所空气中SF6气体的限量含量为1000ul/1。只指出SF6气体比空气重5倍，易液化，可能造成SF6气体在低洼处滞留，造成空气局部缺氧和自然沉降。当SF6浓度升高时，会引起窒息和事故。
目前，世界上对纯SF6本身的低毒或无毒性有不同的看法，但控制使用中空气的极限含量更为可靠。SF6气体在电弧作用下，由许多微量杂质产生，其中有毒、剧毒物质对人体有害，主要损害人体粘膜和呼吸系统，甚至引起肺水肿，甚至急性中毒死亡。
预防措施：拆卸、维护和接触六氟化硫气体时：
（1）在通风良好的环境中进行，人站在上风位置；
（2）工人应穿专用工作服和工作鞋，戴工作帽；
（3）戴过滤式防毒面具；
（4）戴护目镜；
（5）戴耐酸手套；
（6）不得食物是允许带进工作场所的，更不用说当地的饮食和吸烟了。
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