国内高纯硅烷灌装流程

高纯硅烷灌装前，首先利用高纯氮气、氦气对系统进行高压检漏，真空置换。然后分析气源，气瓶是否合格，待一切准备就绪后，生产储罐输送来的高纯硅烷气经压缩机增压后通过灌装控制面板充入已准备就绪的容器中，完成灌装后，系统自动切断。随后更换下一批容器进行灌装。如果灌装时间间隔较长，灌装完成后，应对系统进行减压、置换，不可使系统中长期存有硅烷。

硅烷灌装示意流程见下图