电子特气：电子工业的血液

电子特气：电子工业的血液

特种气体主要包括高纯气体、电子气体和标准气体。电子特种气体（以下简称电子特种气体）是

特种气体的重要分支，是超大型集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、电子

工业生产中不可缺少的原材料，如太阳能电池。

通常在半导体生产行业，气体分为常用气体和特殊气体。其中，常用气体是指集中供应和使用大

量气体，如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体是指在半导体生产过程中使用的一些化学气体，

如延伸、离子注射、掺合、洗涤、掩膜形成，即气体类别中的电子气体，如高纯度 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 在生产过程中，

使用的电子气体几乎相同 100 核心工段种类繁多，核心工段常见 30 种左右。正是这些气体通过不

同的工艺使硅片具有半导体性能，决定了集成电路的性能、集成度、成品率，即使特定杂质超标，

也会导致严重的质量缺陷，严重的不合格气体扩散，导致整个生产线污染，甚至完全瘫痪。因此，

电子气体是制造过程的基本关键材料，是电子工业的“血液”。

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高纯气体、有机气体、专业为各行业定制混合气体和标准气体，主营产品就是电子气体，如六氟化

硫、四氟化碳、高纯氨气、笑气、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯气、氯化氢气体、三氟甲烷、

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