六氟化硫气体是各大电厂的必备气体，六氟化硫本身是无毒气体，但在使用过程中会产生多种有毒气体。因此，在使用过程必须做到安全规范的操作。
1、SF6气体中可能存在一定量的毒性分解物，在使用SF6气体的过程中，要采取安全防护措施。
2、从钢瓶中引出SF6气体时，必须用减压阀降压。
3、避免装有SF6气体的钢瓶靠近热源或受阳光曝晒。
4、使用过的SF6气体钢瓶应关紧阀门，戴上瓶帽，防止剩余气体泄漏。
5、户外设备充装SF6气体时，工作人员应在上风方向操作；室内设备充装SF6气体时，要开启通风系统，并尽量避免和减少SF6气体泄漏到工作区。要求用检漏仪做现场泄漏检测，工作区空气中SF6气体含量不得超过1000μL/L。
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