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我国电子气体发展的三大难点!

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2019-03-19 10:56:00【

 电子气体是高科技产业重要的“源”资料,是集成电路制作过程中必不可少的要害支撑资料。据专业人士泄漏,中国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越,电子气体的打破一定会是最重要的一环。

半导体制作过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相堆积、分散等要运用大量的电子气体,且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。跟着集成电路制程节点不断缩小(已经走到10/7纳米),对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此,集成电路技能快速发展,对电子气体的种类、数量、质量、安全性以及安稳性等方面均提出了更高的要求。

可是现在我国电子气体生产的瓶颈还许多,从原资料纯度开端,到组成工艺、对温度和压力的操控,再到提纯方法和剖析方法,以及产品充装过程中对杂质的操控,每个环节都会影响整个产品的质量。

从技能层面来看,国内企业已经根本具有了生产高纯电子气体的才能,可是国内电子气体的生产商还不能全面进入集成电路等领域。小编总结了一下三大原因:

榜首,本乡电子气体的生产和供货商规模较小,不能为用户供给全方位的服务。和国际巨头公司比较,国内的供货商总体来说体量较小,现在大多通过低价竞赛的方式占领一点市场份额,从而导致价格快速下滑,利润很薄,乃至“赔本赚吆喝”。国内电子气体企业短少提升创新才能的资金,以及为用户供给全方位服务的资源。

第二,质量安稳性问题。电子气体,特别是高纯电子气体是影响电子器件可靠性和成品率的重要因素。跟着电子信息技能的飞速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高,经常需求6N级(99.9999%)乃至更高的纯度,并且对电子气体质量的安稳性要求也越来越严苛。“举一个比如,如果一种电子气体产品,在集成电路制作工艺中通过验证,这样的纯度和质量要求就被确定了。芯片制作商不希望看到产品的质量有任何改变,即使是纯度的进一步提高也可能产生意想不到的问题。所以电子资料生产过程的任何改变,包括更换质料供货商、生产工艺的变动等,都必须及时通知芯片制作商,他们会依据情况决定是否重新进行验证。因为国内企业生产的电子气体发生过多次质量事故,因此,影响了芯片制作商对本乡电子产品的信任度。”许从应对记者说。

第三,国内电子气体产品的包装、储运未能和现代电子工业的要求接轨。为了节约本钱,许多企业在包装、储运等方面降低了要求,为此出现过种种问题。

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