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四氟化碳组分气体的气相色谱试验方法

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2019-07-31 14:38:00【

 四氟化碳用途广泛,目前是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体。它作为温室气体中的一个中类,可以通过多种途径进入水体、土壤、大气中,对环境造成污染。目前的研究已充分证实了臭氧层的损耗与四氟化碳气体在大气中释放的自由基有关。因此,为了准确的评估四氟化碳的排放量,提供四氟化碳组分气体的分析方法及准确定值的方法,评价该类气体物质对自然环境以及经济发展的影响是当前急需解决的问题!

 
国家标准物质研究中心对该组份气体的制备方法、分析方法以及定值方法进行了研究。通过研究确立气体标注物质量值的复现程序及保存方法,建立我国温室气体检测用基准气体组用于保存和复现CF4/Air、CF4/N2两种国家级气体标准物质
 
该研究运用气相色谱热导检测器,它的基本原理是将电流加热后的金属丝置于热导系数大的氢载气中,由于四氟化碳组分气体的热导系数比氢气的高,所以当四氟化碳组分气体被载气携带流入检测器是,金属丝的温度上升,通过测定由于温度上升而引起金属丝的电阻变化而得到四氟化碳组分气体的气相色谱图。
 
以下气相色谱试验方法及条件:
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