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MO源—半导体产业链的源头材料

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-09-17 13:56:00【
MO源是什么?纽瑞德小编来告诉你!
 
MO源也就是高纯金属有机化合物,是现代化合物半导体产业的支撑源材料,是半导体照明(LED)产业链的源头材料。从全球市场来看,MO源主要的应用领域是移动设备的背光源、液晶显示器背光源、液晶大屏幕背光源、半导体激光器及航天高效太阳能电池等高端军品技术领域、信号灯、汽车照明和半导体照明等光电子技术领域。
 
MO源种类繁多,在研究和生产中使用过的MO源超过70多种, MO源概念已超出金属有机化合物的范围,现在MO源的含义应是:凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源,因此MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物”。但是在化合物半导体材料研发和生产中,除Ⅴ、Ⅵ族元素的氢化物(如NH3、AsH3、H2Se等)外,MOCVD工艺使用的高纯基础材料主要是Ⅱ、Ⅲ族的金属有机化合物(如TMGa、DMCd等)和Ⅴ、Ⅵ族元素有机化合物(TBP、TBAs等),目前在MOCVD工艺中使用的Ⅴ、Ⅵ族材料仍是元素的氢化物为主。
 
目前MO源的应用主要有三种形式:一,金属氧化物的前躯体材料。所谓金属氧化物就是通过MO源与水或者臭氧等介质反应,生成氧化物,这一过程就形成了氧化物的MO源。例如 ALED中应用到的三甲基铝和水蒸气反应,形成氧化铝的薄膜,这就是MO源通常最普遍的应用;二,金属氮化物的前躯体材料;三,金属薄膜的前躯体材料。MO源常温下是液态,容易长期储存,化学性质不会改变。在MOCVD中,MO通过高层的氨气等化合物以反应生成氮化物、磷化物等生化物,沉积在衬底上,最终形成化合物——半导体。
 
据吕宝源介绍,由于设备的大型化发展,MOCVD机台不断扩大,MO源的需求量也不断加大,所以容器随之改变。为应对大型化设备趋势,MO源用大包装容器进行灌装,并且越来越多的用户在接受集中供给的理念。
 
MO源是半导体照明产业链的原材料,同时也是一个极度危险的化学品,在使用过程中还存在一些问题:首先MO源活泼性非常大。对空气和水汽极为敏感,在空气中瞬间自燃,遇水发生猛烈爆炸。MOCVD工艺要求MO源中不含或含极低的氧,因此对合成、纯化、分析、灌装等设备材料以及防护措施和操作条件要求苛刻;第二,常用的三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝在高温生长时会产生甲基自由基,甲基自由基在生长温度下能分解出碳原子,对薄膜材料造成不可控碳沾污,从而降低材料的光电性能;第三,三甲基铟、二茂镁等是固态MO源,随着使用量的下降,使用蒸汽压不够稳定。
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