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六氟乙烷的制备方法

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-07-23 10:18:00【
 
六氟乙烷又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃(化学式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
 
六氟乙烷常用于半导体的生产,主要用于一种具多功能的蚀刻技术,它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷还可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。
 
六氟乙烷的制备方法主要有一下几种:
 
1、电化学氟化法,乙炔、乙烯或乙烷在点解条件下氟化。
 
2、热解法,通过四氟乙烯和二氧化碳之间的热分解反应制备。
 
3、金属氟化物氟化法,如乙炔、乙烯和乙烷与金属氟化物进行反应。
 
4、氟化氢催化氟化法,催化剂存在下氟化全卤代乙烷化和物。以生产五氟乙烷过程中产生的副产物与氯气为原料,光化法生成五氟一氯乙烷,制得的五氟一氯乙烷与氟化氢通过液相氟化锑催化制备六氟乙烷。
 
5、直接氟化法,活性炭、乙炔、乙烷和五氟乙烷等气体直接与氟气反应。
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