六氟化硫气体泄漏检测分为定量检测和定性检测。定量检验是通过包扎检测、挂瓶法或压力换算找出泄漏量，从而得出年泄漏率。定性检验是直接检测设备各接头密封点的铝铸件，可查出设备各泄漏点的位置。

定量检漏通常采用扣盖法、挂瓶法、局部包扎法、压降法等方法。扣盖法适用于高压断路器和适合盖盖场合的小型设备。挂瓶方式适用于法兰面上有双密封槽的场合。部分包裹法一般用于组装单元和大型产品。压降法适用于设备舱泄漏量较大或运行过程中确定泄漏率。通常，在六氟化硫设备的交接验收试验中，检漏工作采用局部包裹法和卡扣法进行检漏。