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氦气质谱检漏仪粗漏与细漏检测方法

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2019-01-07 11:32:00【

为了实现对电子元器件更高密封严密性的检测,自21世纪开端的几年,国际上开端出现新型的堆集氦气质谱检漏仪。这种仪器采用了深冷泵和四极质谱倍增器。深冷泵内腔温度可降至20K(-253℃),能够有用吸收氢氦以外的各种气体。

使用这种仪器,能够进行粗漏和细漏的组合检测。粗漏检测以氦气为示踪气体,预充氦或压氦的粗漏被检件,在空气中经一段时间的贮存候检,内部的氦气分气压PHe应等于或高于正常空气中的氦气分气压PHe0。设粗漏检测拒收的等效规范漏率判据为L0,按分子流气体交流(走漏)形式,在真空下检测的粗漏氦气丈量漏率判据。

细漏检测以氦气或其它气体为示踪气体,检测的走漏示踪气体通过深冷泵,然后通过质谱倍增器进行一段时间的堆集检测。因为深冷泵能有用进步氦气对氢以外气体的信噪比,再通过堆集倍增,非常有用的进步了氦气细漏检测的灵敏度。当前Inficon公司的Pernicka 700H型CHLD,使用铜垫圈密封小型检测室时,可检测的最小氦气漏率已达4×10-9Pa·cm3/s,使用不同的检测室,可检测的氦气丈量漏率判据范围可为2×10-8Pa·cm3/s~1×10-6Pa·cm3/s。

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