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氦气(he)在半导体制造中发挥着重要作用

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2023-07-11 10:52:07【
氦气(he)在半导体制造中发挥着重要作用

高纯氦气(1)


氦是一种从天然气收集中提取的惰性气体,具有在半导体制造过程中利用的多种特性。因为氦是一种“惰性”

气体,它不会与其他元素发生反应,这使其成为制造半导体的理想选择。在半导体加工过程中发生的化学反

应通常是基于气体或液体的,因此在硅周围使用惰性气体可以防止发生不必要的反应。此外,由于氦具有高

导热性,它可以有效地将热量传导出去,这有助于在制造过程中控制硅的温度,并使半导体的小型化成为可

能。半导体越来越多地出现在几乎所有可以想象的应用中。例如,基于半导体的电动汽车零部件占汽车制造

成本的 35%,到 2030 年,随着其他零部件变得更加实惠,它们可能占制造成本的一半。在美国,氦气的最

大用途(30%)用于医疗保健,主要是磁共振成像(MRI)、分析和实验室应用(17%)以及工程和科学应

用(6%)。如果没有石油和天然气生产,而氦的生产是次要产品,那么今天的现代半导体制造将是不可能

的。如果没有从石油和天然气运营以及天然气加工中回收的氦气,芯片的工厂将无法运营。由于液化气态氦

所需的冷却、其有限的可用性、从天然气中分离氦的困难过程以及其存储要求,它可能很昂贵。数百万年来,

放射性衰变导铀岩将氦分散到这些腔室中。大多数已知的氦储量是偶然发现的。

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