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高纯六氟化硫工业应用及未来发展

文章出处：责任编辑：人气：-发表时间：2022-08-03 10:43:00【大中小】

工业级高纯六氟化硫主要用于断路器、变压器等电器设备。六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年，国家大力发展基础电力行业，给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。主要用于半导体工业中作清洗气体。另外高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上)，国内需求非常旺盛，而且附加值较高。

　　高纯六氟化硫的成本只有NF3的几分之一，近年来，各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时，还显示出了环保前景，近年来用量有明显的提高。我国成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。