在电子器件生产工艺中．广泛使用了各种高纯气体．按工艺中高纯度气体的不同用途，

可将其分为保护气、反应气和载气.

用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气．在国内为获取氢气和氨气，为获得较

高纯度的氢气，一般都采用电解纯水的方法制取．这种方法需用大量电能来电解水，

一般达4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高.

为减少电能消耗，降低成本，都在研制和应用各种混合气．其中，以应用氮－氢混合

气为最多．国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气， 也有采用液氮分解法

获得氮氢混合气的．

用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法，由于采用了液化后再汽化的工艺，故其

投资和成本均较高． 国外，由于生产的专业化程度高，使用单位多采用这种方法获得

混合气． 国内若从专业铝合金门窗厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮，其成

本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍．由液氨分解获得的氮氧混合气，

由于液氮来源不同，大多数质量较差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质．此外

，液氮多来源于化肥厂，目前，供应上较紧张，故成本也较高．

氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气，还可广泛用于冶金、化工、

机械等行业． 一旦广泛推广应用，必将产生可观的经济效益和社会效益．